ISBN: 9783540431817
Chemical Mechanical Planarization (CMP) has emerged in the last two decades and grown rapidly as a basic technology widely used in semiconduc tor device fabrication. As a se… Mehr…
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2004, ISBN: 9783540431817
Springer, Gebundene Ausgabe, Auflage: 2004, 439 Seiten, Publiziert: 2004-01-26T00:00:01Z, Produktgruppe: Buch, Hersteller-Nr.: 298 black & white illustrations, 3.88 kg, Maschinenbau, Inge… Mehr…
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2004, ISBN: 3540431810
2004 Gebundene Ausgabe Halbleiter / Physik, Prozesstechnik, Physikalische Chemie, Materialwissenschaft, Werkstoffprüfung, Fertigungstechnik und Ingenieurwesen, Elektronik, dielectrics; … Mehr…
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2004, ISBN: 9783540431817
Buch, Hardcover, 2004, [PU: Springer Berlin], Springer Berlin, 2004
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2004
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Springer, Gebundene Ausgabe, Auflage: 2004, 439 Seiten, Publiziert: 2004-01-26T00:00:01Z, Produktgruppe: Buch, Hersteller-Nr.: 298 black & white illustrations, 3.88 kg, Maschinenbau, Inge… Mehr…
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Bibliographische Daten des bestpassenden Buches
Autor: | |
Titel: | |
ISBN-Nummer: |
Detailangaben zum Buch - Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials (Springer Series in Materials Science, 69, Band 69)
EAN (ISBN-13): 9783540431817
ISBN (ISBN-10): 3540431810
Gebundene Ausgabe
Erscheinungsjahr: 2004
Herausgeber: Oliver, M.R. Springer
425 Seiten
Gewicht: 0,824 kg
Sprache: ger/Deutsch
Buch in der Datenbank seit 2007-11-10T14:24:46+01:00 (Berlin)
Detailseite zuletzt geändert am 2024-03-26T14:39:04+01:00 (Berlin)
ISBN/EAN: 9783540431817
ISBN - alternative Schreibweisen:
3-540-43181-0, 978-3-540-43181-7
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Autor des Buches: werner massa, oliver
Titel des Buches: springer series, chemical mechanical planarization semiconductor materials, mechanica, materials science
Daten vom Verlag:
Autor/in: M.R. Oliver
Titel: Springer Series in Materials Science; Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials
Verlag: Springer; Springer Berlin
428 Seiten
Erscheinungsjahr: 2004-01-26
Berlin; Heidelberg; DE
Sprache: Englisch
213,99 € (DE)
219,99 € (AT)
236,00 CHF (CH)
Available
XI, 428 p.
BB; Hardcover, Softcover / Technik/Maschinenbau, Fertigungstechnik; Werkstoffprüfung; Verstehen; dielectrics; material; metals; reactions; semiconductor; semiconductor technology; Characterization and Analytical Technique; Electronics and Microelectronics, Instrumentation; Machines, Tools, Processes; Physical Chemistry; Surfaces, Interfaces and Thin Film; Optical Materials; Elektronik; Fertigungstechnik und Ingenieurwesen; Physikalische Chemie; Materialwissenschaft; Technische Anwendung von elektronischen, magnetischen, optischen Materialien; BC
This volume is a comprehensive review of CMP (Chemical-Mechanical Planarization) technology, which is now a major part of state-of-the-art semiconductor technology. There are detailed discussions of all aspects of the technology, for both dielectrics and metals. The state of polishing models and their relation to experimental results are covered. Polishing tools and consumables are also covered. The leading edge issues of damascene and new dielectrics as well as slurryless technology are discussed.Comprehensive book covering the technology of CMP for all semiconductor related materials, as well as the science and modelling of the various mechanisms Includes supplementary material: sn.pub/extras
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