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Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen - Telgheder, Ursula
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Telgheder, Ursula:

Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen - Taschenbuch

ISBN: 363903435X

ID: 20028487065

[EAN: 9783639034356], Neubuch, Publisher/Verlag: VDM Verlag Dr. Müller | Entwicklungen, Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren in der Prozessgasanalytik | Die Entwicklung von Analysenverfahren zur Untersuchung ausgewählter reaktiver Prozessgase (Chlor, Chlorwasserstoff, Bortrichlorid und Dichlorsilan) ohne Probenvorbereitung im Hinblick auf ihren Einsatz in der Halbleiterfertigung und den damit verknüpften Anforderungen an die Nachweisstärke der Verfahren bildet den Schwerpunkt des vorliegenden Buches. Verschiedene atomspektrometrische Methoden wie die Graphitrohratomabsorptionsspektrometrie (GFAAS), Mikrowelleninduziertes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (MIP-AES), Nichtdispersive Atomfluoreszenzspektrometrie (NAFS) und Induktiv gekoppeltes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (ICP-AES) wurden für die Ausarbeitung der Verfahren eingesetzt sowie deren Möglichkeiten und Grenzen aufgezeigt. Aufgrund der physikalisch-chemischen Eigenschaften der Gase und ihrer Reaktivität ist die Auswahl der Materialien des Gaseinführungs- und Analysensystems von entscheidender Bedeutung für eine richtige Analyse. Sowohl technische Modifikationen als auch Kalibrierungsmöglichkeiten werden präsentiert. | Format: Paperback | 200 gr | 144 pp, [PU: VDM Verlag Dr. Müller, Saarbrücken]

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Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen - Entwicklungen, Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren in der Prozessgasanalytik
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Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen - Entwicklungen, Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren in der Prozessgasanalytik - Taschenbuch

2008, ISBN: 9783639034356

[ED: Taschenbuch / Paperback], [PU: VDM Verlag Dr. Müller], Die Entwicklung von Analysenverfahren zur Untersuchung ausgewählter reaktiver Prozessgase (Chlor, Chlorwasserstoff, Bortrichlorid und Dichlorsilan) ohne Probenvorbereitung im Hinblick auf ihren Einsatz in der Halbleiterfertigung und den damit verknüpften Anforderungen an die Nachweisstärke der Verfahren bildet den Schwerpunkt des vorliegenden Buches. Verschiedene atomspektrometrische Methoden wie die Graphitrohratomabsorptionsspektrometrie (GFAAS), Mikrowelleninduziertes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (MIP-AES), Nichtdispersive Atomfluoreszenzspektrometrie (NAFS) und Induktiv gekoppeltes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (ICP-AES) wurden für die Ausarbeitung der Verfahren eingesetzt sowie deren Möglichkeiten und Grenzen aufgezeigt. Aufgrund der physikalisch-chemischen Eigenschaften der Gase und ihrer Reaktivität ist die Auswahl der Materialien des Gaseinführungs- und Analysensystems von entscheidender Bedeutung für eine richtige Analyse. Sowohl technische Modifikationen als auch Kalibrierungsmöglichkeiten werden präsentiert., [SC: 3.00], Neuware, gewerbliches Angebot, 220 mm, [GW: 200g]

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Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen - Ursula Dr. Telgheder
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Ursula Dr. Telgheder:
Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen - Taschenbuch

ISBN: 9783639034356

[ED: Taschenbuch], [PU: VDM Verlag Dr. Müller e.K.], Neuware - Die Entwicklung von Analysenverfahren zur Untersuchung ausgewählter reaktiver Prozessgase (Chlor, Chlorwasserstoff, Bortrichlorid und Dichlorsilan) ohne Probenvorbereitung im Hinblick auf ihren Einsatz in der Halbleiterfertigung und den damit verknüpften Anforderungen an die Nachweisstärke der Verfahren bildet den Schwerpunkt des vorliegenden Buches. Verschiedene atomspektrometrische Methoden wie die Graphitrohratomabsorptionsspektrometrie (GFAAS), Mikrowelleninduziertes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (MIP-AES), Nichtdispersive Atomfluoreszenzspektrometrie (NAFS) und Induktiv gekoppeltes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (ICP-AES) wurden für die Ausarbeitung der Verfahren eingesetzt sowie deren Möglichkeiten und Grenzen aufgezeigt. Aufgrund der physikalisch-chemischen Eigenschaften der Gase und ihrer Reaktivität ist die Auswahl der Materialien des Gaseinführungs- und Analysensystems von entscheidender Bedeutung für eine richtige Analyse. Sowohl technische Modifikationen als auch Kalibrierungsmöglichkeiten werden präsentiert., [SC: 0.00], Neuware, gewerbliches Angebot, 220x150x9 mm, [GW: 231g]

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Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen - Telgheder, Ursula
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Telgheder, Ursula:
Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen - Taschenbuch

2008, ISBN: 9783639034356

[ED: Softcover], [PU: Vdm Verlag Dr. Müller], Die Entwicklung von Analysenverfahren zur Untersuchung ausgewählter reaktiver Prozessgase (Chlor, Chlorwasserstoff, Bortrichlorid und Dichlorsilan) ohne Probenvorbereitung im Hinblick auf ihren Einsatz in der Halbleiterfertigung und den damit verknüpften Anforderungen an die Nachweisstärke der Verfahren bildet den Schwerpunkt des vorliegenden Buches. Verschiedene atomspektrometrische Methoden wie die Graphitrohratomabsorptionsspektrometrie (GFAAS), Mikrowelleninduziertes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (MIP-AES), Nichtdispersive Atomfluoreszenzspektrometrie (NAFS) und Induktiv gekoppeltes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (ICP-AES) wurden für die Ausarbeitung der Verfahren eingesetzt sowie deren Möglichkeiten und Grenzen aufgezeigt. Aufgrund der physikalisch-chemischen Eigenschaften der Gase und ihrer Reaktivität ist die Auswahl der Materialien des Gaseinführungs- und Analysensystems von entscheidender Bedeutung für eine richtige Analyse. Sowohl technische Modifikationen als auch Kalibrierungsmöglichkeiten werden präsentiert. 2008. 144 S. 220 mm Sofort lieferbar, [SC: 0.00], Neuware, gewerbliches Angebot

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Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen - Ursula Telgheder
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Ursula Telgheder:
Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen - neues Buch

ISBN: 9783639034356

ID: 2e8b9778ecf80c336c92bdd8f206a577

Die Entwicklung von Analysenverfahren zur Untersuchung ausgewählter reaktiver Prozessgase (Chlor, Chlorwasserstoff, Bortrichlorid und Dichlorsilan) ohne Probenvorbereitung im Hinblick auf ihren Einsatz in der Halbleiterfertigung und den damit verknüpften Anforderungen an die Nachweisstärke der Verfahren bildet den Schwerpunkt des vorliegenden Buches. Verschiedene atomspektrometrische Methoden wie die Graphitrohratomabsorptionsspektrometrie (GFAAS), Mikrowelleninduziertes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (MIP-AES), Nichtdispersive Atomfluoreszenzspektrometrie (NAFS) und Induktiv gekoppeltes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (ICP-AES) wurden für die Ausarbeitung der Verfahren eingesetzt sowie deren Möglichkeiten und Grenzen aufgezeigt. Aufgrund der physikalisch-chemischen Eigenschaften der Gase und ihrer Reaktivität ist die Auswahl der Materialien des Gaseinführungs- und Analysensystems von entscheidender Bedeutung für eine richtige Analyse. Sowohl technische Modifikationen als auch Kalibrierungsmöglichkeiten werden präsentiert. Bücher / Naturwissenschaften, Medizin, Informatik & Technik / Chemie, [PU: VDM Verlag Dr. Müller, Saarbrücken]

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Details zum Buch
Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen
Autor:

Telgheder, Ursula

Titel:

Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen

ISBN-Nummer:

9783639034356

Detailangaben zum Buch - Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen


EAN (ISBN-13): 9783639034356
ISBN (ISBN-10): 363903435X
Taschenbuch
Erscheinungsjahr: 2008
Herausgeber: VDM Verlag
144 Seiten
Gewicht: 0,231 kg
Sprache: ger/Deutsch

Buch in der Datenbank seit 31.01.2009 08:57:19
Buch zuletzt gefunden am 07.02.2017 22:33:35
ISBN/EAN: 9783639034356

ISBN - alternative Schreibweisen:
3-639-03435-X, 978-3-639-03435-6

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