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Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials - neues Buch

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2013, ISBN: 9783662062340

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Details zum Buch

Detailangaben zum Buch - Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials


EAN (ISBN-13): 9783662062340
Erscheinungsjahr: 2013
Herausgeber: Springer Berlin Heidelberg

Buch in der Datenbank seit 2017-05-09T03:41:21+02:00 (Berlin)
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ISBN/EAN: 9783662062340

ISBN - alternative Schreibweisen:
978-3-662-06234-0


Daten vom Verlag:

Autor/in: M.R. Oliver
Titel: Springer Series in Materials Science; Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials
Verlag: Springer; Springer Berlin
428 Seiten
Erscheinungsjahr: 2013-03-14
Berlin; Heidelberg; DE
Sprache: Englisch
213,99 € (DE)
220,00 € (AT)
236,00 CHF (CH)
Available
XI, 428 p.

EA; E107; eBook; Nonbooks, PBS / Technik/Maschinenbau, Fertigungstechnik; Werkstoffprüfung; Verstehen; dielectrics; material; metals; reactions; semiconductor; semiconductor technology; C; Characterization and Analytical Technique; Electronics and Microelectronics, Instrumentation; Machines, Tools, Processes; Physical Chemistry; Surfaces, Interfaces and Thin Film; Optical Materials; Chemistry and Materials Science; Elektronik; Fertigungstechnik und Ingenieurwesen; Physikalische Chemie; Materialwissenschaft; Technische Anwendung von elektronischen, magnetischen, optischen Materialien; BC

This volume is a comprehensive review of CMP (Chemical-Mechanical Planarization) technology, which is now a major part of state-of-the-art semiconductor technology. There are detailed discussions of all aspects of the technology, for both dielectrics and metals. The state of polishing models and their relation to experimental results are covered. Polishing tools and consumables are also covered. The leading edge issues of damascene and new dielectrics as well as slurryless technology are discussed.
Comprehensive book covering the technology of CMP for all semiconductor related materials, as well as the science and modelling of the various mechanisms Includes supplementary material: sn.pub/extras;

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