Die absolut quantitative und standardfreie Analyse von Konzentrationsprofilen in ultradünnen Oxidschichten, insbesondere an deren Grenzflächen, stellt eine enorme Herausforderung an die i… Mehr…
Die absolut quantitative und standardfreie Analyse von Konzentrationsprofilen in ultradünnen Oxidschichten, insbesondere an deren Grenzflächen, stellt eine enorme Herausforderung an die in Verwendung kommende Analysetechnik dar. Im Rahmen dieser Arbeit stand die Weiterentwicklung der hochauflösenden Rutherford-Streuspektrometrie (HR- RBS) im Forschungszentrum Dresden-Rossendorf (FZD) sowie die Beantwortung grundlegender experimenteller und theoretischer Fragestellungen zur HR-RBS im Vordergrund, die weltweit nur von einzelnen Gruppen erfolgreich angewendet wird. In Kooperation mit Qimonda AG und Fraunhofer CNT wurde die HR-RBS als zerstörungsfreie Ionenstrahlanalyse zur Quantifizierung von Tiefenprofilen an den Grenzflächen von Schichtsystemen im Sub- Nanometerbereich adaptiert, um das Diffusionsverhalten und Schichtwachstum im Anfangsstadium von high-k Dielektrika zu untersuchen. Die in sechs Kapitel unterteilte Dissertation beschreibt ausführlich durchgeführte Experimente zur Untersuchung von oberflächennahen high-k Schichten, die mittels Atomic Layer Deposition (ALD) abgeschieden worden sind. Bücher > Sachbücher > Naturwissenschaften & Technik > Physik 22.4 cm x 15.1 cm x 1.7 cm mm , Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften, Taschenbuch, Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften<
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[ED: Softcover], [PU: Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften], Die absolut quantitative und standardfreie Analyse von Konzentrationsprofilen in ultradünnen Oxidschichten, insbesondere an deren Grenzflächen, stellt eine enorme Herausforderung an die in Verwendung kommende Analysetechnik dar. Im Rahmen dieser Arbeit stand die Weiterentwicklung der hochauflösenden Rutherford-Streuspektrometrie (HR- RBS) im Forschungszentrum Dresden-Rossendorf (FZD) sowie die Beantwortung grundlegender experimenteller und theoretischer Fragestellungen zur HR-RBS im Vordergrund, die weltweit nur von einzelnen Gruppen erfolgreich angewendet wird. In Kooperation mit Qimonda AG und Fraunhofer CNT wurde die HR-RBS als zerstörungsfreie Ionenstrahlanalyse zur Quantifizierung von Tiefenprofilen an den Grenzflächen von Schichtsystemen im Sub- Nanometerbereich adaptiert, um das Diffusionsverhalten und Schichtwachstum im Anfangsstadium von high-k Dielektrika zu untersuchen. Die in sechs Kapitel unterteilte Dissertation beschreibt ausführlich durchgeführte Experimente zur Untersuchung von oberflächennahen high-k Schichten, die mittels Atomic Layer Deposition (ALD) abgeschieden worden sind.
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*HR-RBS Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie* - Experimentelle Untersuchung von Schichtwachstum im Anfangsstadium / Taschenbuch für 79 € / Aus dem Bereich: Bücher, Wissenschaft, Physik Medien > Bücher nein Buch (kartoniert) Hardcover;Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik;Atomphysik, Kernphysik, Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften<
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Detailangaben zum Buch - HR-RBS Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie
EAN (ISBN-13): 9783838122397 ISBN (ISBN-10): 3838122399 Gebundene Ausgabe Taschenbuch Erscheinungsjahr: 2010 Herausgeber: Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften 136 Seiten Gewicht: 0,218 kg Sprache: ger/Deutsch
Buch in der Datenbank seit 2009-02-06T02:01:27+01:00 (Berlin) Buch zuletzt gefunden am 2024-07-22T14:33:32+02:00 (Berlin) ISBN/EAN: 9783838122397
ISBN - alternative Schreibweisen: 3-8381-2239-9, 978-3-8381-2239-7 Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe: Titel des Buches: rutherford
