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Al2O3 Thin Films: Relation between Structural Evolution, Mechanical Properties, and Stability - Jiang, Kaiyun
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Jiang, Kaiyun:
Al2O3 Thin Films: Relation between Structural Evolution, Mechanical Properties, and Stability - Taschenbuch

12, ISBN: 3844006176

ID: 155381

1., Aufl. Paperback 126 S. Broschiert In this thesis the relation between structure evolution, mechanical properties, and stability was investigated for Al2O3 thin films. The existence of different polymorphs of this material offers a range of properties for applications, but also meets the process control challenges when the formation of phase pure material is desired. The aim of this work is to affect the phase structure evolution and the stability of vapor deposited alumina thin films, especially for the case of PECVD. This goal is achieved by experimental investigations of the PECVD process which show that a-Al2O3 phase is obtained only at conditions with a low precursor ratio, a long pulse length and a high power density. ISBN 9783844006179 Stabilität, Mikrostruktur, PECVD-Verfahren, Mechanische Eigenschaft, Aluminiumoxide, mit Schutzumschlag neu, [PU:Shaker,]

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Al2O3 Thin Films: Relation between Structural Evolution, Mechanical Properties, and Stability  1., Aufl. - Jiang, Kaiyun
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Jiang, Kaiyun:
Al2O3 Thin Films: Relation between Structural Evolution, Mechanical Properties, and Stability 1., Aufl. - Taschenbuch

12, ISBN: 9783844006179

ID: 155381

1., Aufl. 126 S. Paperback In this thesis the relation between structure evolution, mechanical properties, and stability was investigated for Al2O3 thin films. The existence of different polymorphs of this material offers a range of properties for applications, but also meets the process control challenges when the formation of phase pure material is desired. The aim of this work is to affect the phase structure evolution and the stability of vapor deposited alumina thin films, especially for the case of PECVD. This goal is achieved by experimental investigations of the PECVD process which show that a-Al2O3 phase is obtained only at conditions with a low precursor ratio, a long pulse length and a high power density. ISBN 9783844006179 Versand D: 2,30 EUR Stabilität, Mikrostruktur, PECVD-Verfahren, Mechanische Eigenschaft, Aluminiumoxide, [PU:Shaker,]

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Al2O3 Thin Films: Relation between Structural Evolution, Mechanical Properties, and Stability - Taschenbuch

12, ISBN: 9783844006179

[PU: Shaker], 126 S. Paperback ISBN 9783844006179, [SC: 2.30], Neuware, gewerbliches Angebot, [GW: 189g], 1. Aufl.

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Al2O3 Thin Films: Relation between Structural Evolution, Mechanical Properties, and Stability - neues Buch

2011, ISBN: 9783844006179

[PU: Shaker], DE, [SC: 0.00], Neuware, gewerbliches Angebot, 126, [GW: 189g], 1., Aufl.

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2011, ISBN: 9783844006179

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Details zum Buch
Al2O3 Thin Films: Relation between Structural Evolution, Mechanical Properties, and Stability (Materials Chemistry)
Autor:

Kaiyun Jiang

Titel:

Al2O3 Thin Films: Relation between Structural Evolution, Mechanical Properties, and Stability (Materials Chemistry)

ISBN-Nummer:

Detailangaben zum Buch - Al2O3 Thin Films: Relation between Structural Evolution, Mechanical Properties, and Stability (Materials Chemistry)


EAN (ISBN-13): 9783844006179
ISBN (ISBN-10): 3844006176
Taschenbuch
Erscheinungsjahr: 2011
Herausgeber: Shaker

Buch in der Datenbank seit 30.01.2012 10:11:11
Buch zuletzt gefunden am 24.06.2017 07:30:33
ISBN/EAN: 9783844006179

ISBN - alternative Schreibweisen:
3-8440-0617-6, 978-3-8440-0617-9


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